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失效样品分析

失效样品分析.jpg
试验项目

材料去层、截面制备、金属互连、绝缘层分层等。

试验参数

探测器:单个探测器有效面积65mm²

元素分析范围:Be4~Cf98


试验标准

SH-C-24-03-0016等。

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